FAZ plus ArtikelChips aus dem Reinraum

Der lange Weg zum fertigen Halbleiter

Von Anna-Lena Niemann
15.12.2021
, 10:38
Astreiner Dresscode: Der Reinraumanzug schützt nicht seinen Träger, sondern die Halbleiter vor ihm. Lüftungs- und Filteranlagen arbeiten zudem so gründlich, dass die Luft sauberer ist als in jedem OP-Saal.
Wer Chips will, braucht gerade viel Geduld. Warum ist die Produktion so kompliziert? Ein Besuch im Reinraum, im Herzen der europäischen Chipindustrie, gibt ein paar Antworten.
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Eine gute Stunde der Fa­briktour ist um, als ­Germar Schneider etwas tut, das normalerweise unter keinen Umständen getan werden darf: Er nimmt einen Dünnwafer in die Hand. Der Wafer, eine Scheibe aus reinem Silizium, auf der Dutzende Chips mit Milliarden Transistoren aufgebracht sind, misst 300 Millimeter im Durchmesser. Er ist so empfindlich, dass er nur auf Schienen, mit Robotern und manchmal nur im Vakuum bewegt werden darf. Der Wafer windet sich elastisch in Schneiders Händen und macht dabei Geräusche wie aus einem Theremin.

Schneider weiß natürlich, was er macht. Bei Infineon, Deutschlands größtem Chiphersteller, arbeitet der Chemiker seit mehr als 25 Jahren. Er ist der Spezialist für die Automatisierung der Fabrikabläufe und die Handhabung der leistungsstarken Dünnwafer, die gegen Ende ihres Fertigungsprozesses von 0,7 auf 0,06 Millimeter Dicke heruntergeschliffen werden. Den Wafer, auf dem sich schon Bruchstellen zeigen, hat Schneider gut gelaunt aus einem Schrank gezogen, nicht aus einer der Fer­tigungsanlagen. Er dient der Veranschau­lichung eines gefragten Produktes, das hier in Dresden, dem europäischen Zentrum der Halbleiterfertigung, das Werk verlässt.

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Autorenporträt / Niemann, Anna-Lena
Anna-Lena Niemann
Redakteurin im Ressort „Technik und Motor“.
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